億元進口隻是中低端產品，光刻機領域中國的差距在哪？

目前，光刻機領域的老大是荷蘭(lan) ASML，壟斷了市場，而國內(nei) 則*依賴進口！前些日子，一台價(jia) 值1.06億(yi) 元的設備經空運從(cong) 荷蘭(lan) 飛抵廈門，卻得到機場海關(guan) 嚴(yan) 陣以待的待遇，而所引進光刻機設備卻隻是中低端設備，光刻機領域中國的差距到底在哪？

事件經過設備價(jia) 值過高達1.06億(yi) 元
對保存和運輸要求很高
必須保持在23℃恒溫狀態下運輸為(wei) 了避免影響設備的精度，在運輸中也對穩定性有*的要求。因此，機場海關(guan) 以機坪查驗的方式對該貨物實行全程機邊監管，待貨物裝入特製溫控氣墊車，移至海關(guan) 的機坪視頻監控探頭之下，完成緊急查驗後當晚就得到放行。

光刻機知識

光刻機是芯片製造的核心設備之一
按照用途可以分為(wei) 好幾種
生產(chan) 芯片的光刻機
用於(yu) 封裝的光刻機
LED製造領域的投影光刻機

用於(yu) 生產(chan) 芯片的光刻機是中國在半導體(ti) 設備製造上 大的短板，國內(nei) 晶圓廠所需的光刻機*依賴進口，本次廈門企業(ye) 從(cong) 荷蘭(lan) 進口的光刻機就是用於(yu) 芯片生產(chan) 的設備。

在光刻機上，除了老大ASML，尼康和佳能也曾做過光刻機，而且尼康還曾經得到過Intel的訂單。但是近些年，尼康在ASML麵前被打的毫無還手之力，光刻機市場基本被ASML占據——即便是尼康 新的Ar-F immersion 630賣價(jia) 還不到ASML Ar-F immersion 1980D平均售價(jia) 的一半，也無法挽回敗局。

原因何在？一方麵是Intel新CEO上台後，不再延續與(yu) 尼康的620D合同，這使得尼康失去了一個(ge) 大客戶。另一方麵，也和尼康自身技術實力不足有關(guan) ，尼康的光刻機相對於(yu) ASML有不少瑕疵，在操作係統上設計的架構有缺陷，而且尼康的光刻機的實際性能和尼康*宣傳(chuan) 的有不小差距，這使得台積電、Intel、三星、格羅方德等晶圓大廠不可能為(wei) 了省一點錢去買(mai) 有瑕疵的產(chan) 品。
目前，尼康的光刻機基本被ASML吊打，主流半導體(ti) 產(chan) 線中隻有少數低階老機齡的光刻機還是尼康或者佳能，其他基本都是ASML的天下。某種程度上，尼康的光刻機也隻能用賣的超級便宜來搶市場了。那麽(me) ，賣的到底有多便宜呢？
用數據來說話，ASML的 EUV NXE 3350B 單價(jia) 超過1億(yi) 美元，ArF Immersion售價(jia) 大約在7000萬(wan) 美元左右。相比之下，尼康光刻機的單價(jia) 隻相當於(yu) ASML價(jia) 格的三分之一。光刻機的玻璃增透膜難度也是高精尖

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上圖是一張ASML光刻機介紹圖
下麵，簡單介紹一下圖中各設備的作用

在加工芯片的過程中，光刻機通過一係列的光源能量、形狀控製手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償(chang) 各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後映射到矽片上，然後使用化學方法顯影，得到刻在矽片上的電路圖。一般的光刻工藝要經曆矽片表麵清洗烘幹、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經過一次光刻的芯片可以繼續塗膠、曝光。越複雜的芯片，線路圖的層數越多，也需要更精密的曝光控製過程。
國內(nei) 現狀

目前，光刻機領域的老大是荷蘭(lan) ASML，並已經占據了高達80%的*，壟斷了光刻機市場。日本尼康在光刻機上*被ASML擊敗，即便尼康的ArF光刻機售價(jia) 僅(jin) 僅(jin) 不到ASML的一半也無補於(yu) 事。Intel、台積電、三星用來加工14/16nm芯片的光刻機都是買(mai) 自ASML，格羅方德、聯電以及中芯等晶圓廠的光刻機主要也是來自ASML。 更關(guan) 鍵的是， 的EUV光刻機僅(jin) 僅(jin) ASML能夠生產(chan) ，ASML在今年第三季度和第四季度出售的兩(liang) 台EUV光刻機售價(jia) 都超過1億(yi) 美元，落後EUV一代的ArF光刻機平均售價(jia) 也在4000萬(wan) 至5000萬(wan) 歐元左右，從(cong) 高企的報價(jia) 和EUV光刻機*出售可以看出，光刻機的技術門檻*，是人類智慧集大成的產(chan) 物。相比之下，國內(nei) 光刻機廠商則顯得非常寒酸，處於(yu) 技術的上海微電子裝備有限公司已量產(chan) 的光刻機中，性能 的是能用來加工90nm芯片的光刻機，技術差距說是鴻溝都不為(wei) 過。正是因此，國內(nei) 晶圓廠所需的光刻機*依賴進口，本次從(cong) 荷蘭(lan) 空運至廈門機場的ASML光刻機，就是用於(yu) 芯片生產(chan) 製造的光刻機，由於(yu) 是廈門的一家公司申報進口的，小編猜測，這台設備很有可能是廈門當地政府與(yu) 中國台灣聯華電子合資的晶圓廠從(cong) 荷蘭(lan) ASML采購的。
不過，由於(yu) 西方瓦森納協議的限製，中國隻能買(mai) 到ASML的中低產(chan) 品，這一點從(cong) 廈門當地企業(ye) 進口的光刻機報價(jia) 僅(jin) 1億(yi) 人民幣就可以看出來了。